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隨著芯片制造進入3nm制程，極紫外（EUV）光刻機已成為芯片大規模量產和工業化的設備，目前僅有荷蘭ASML公司能夠制造但對中國禁售。EUV光刻機中最核心的分系統是激光等離子體（LPP）EUV光源，其研發的主要挑戰之一是提高激光到13.5nmEUV光的能量轉換效率（CE）。CO2激光器由于可同時實現高功率、高重頻和窄脈寬激光輸出，且其激發的Sn等離子體具有較高CE（5%），被選定為商業LPP-EUV光刻光源的驅動光源。近期研究表明，1μm固體激光激發Sn等離子體的CE有可能滿足...

封面展示了傳統的深紫外發光二極管（DUV-LED）倒裝芯片的出光示意圖。器件工作時，空穴和電子分別從p型區和n型區進入到量子阱中復合發光，但只有很小一部分光可以從器件底部出射，最終實現有效的光提取。造成器件光效嚴重損耗的原因主要有三類，即量子阱偏振度低、界面全反射、以及器件頂部光吸收。深入剖析以上關鍵科學問題及相關技術創新，有助于精準突破光提取壁壘，實現高性能器件。一、背景介紹波長短于280nm的深紫外（DUV）光源應用廣泛，覆蓋環境、食品、公共衛生、通訊等多個領域，成為人民...

封面展示了一種片上集成微納結構的紅外偏振探測器的工作模式。該器件通過像素級偏振敏感微結構實現紅外入射光的全偏振信息解耦，并在像素級光吸收區將解耦后的偏振信息轉換為電信號。隨后，對讀出電信號進行校正與重構，以實現被測目標全偏振特征的實時提取。該片上集成微納結構的紅外偏振探測器具有高集成度和實時成像能力，可高效獲取被測目標及場景的材料成分、表面形貌和理化特性等，在**、民用及醫療等領域展現出重要應用價值。1、背景介紹偏振是電磁波重要的信息組成部分，指光波的振動方向。當光波與介質表...

在數據中心爆發式增長的今天，一種名為“蝶形高速調制VCSEL激光器”的技術正悄然掀起光通信領域的革命。當你刷著4K視頻或進行云端協作時，或許正是它在背后支撐著海量數據的閃電傳輸。一、什么是VCSEL激光器？從基礎說起對于非專業人士來說，激光器可能顯得陌生而遙遠。簡單來說，VCSEL的全稱是垂直腔面發射激光器，與我們常見的邊發射激光器不同，它的光束是從芯片表面垂直射出。這種獨特結構帶來了三大天然優勢：低閾值電流：能耗更低，符合綠色數據中心需求圓形對稱光斑：與光纖耦合效率高達90...

錐形光纖+超柔電極：打造更精準的腦科學工具在神經科學研究中，光遺傳學技術通過將攜帶光敏蛋白的病毒注入目標腦區，然后利用特定波長的激光激發或抑制神經元活動，能夠實現高精度的神經調控。然而，如果要同步觀察這些神經元在受到光刺激時的電生理信號，就需要將激光與電極“打包”到同一套裝置中。但一旦激光照射到電極位點，往往會產生額外的光電偽影噪聲，從而干擾真實神經信號的檢測。如圖1所示，本次發布的光電神經接口采用了錐形光纖作為光源引導的載體，并結合擁有超低厚度與柔性的超柔電極。這樣既能減輕...

封面展示了利用直寫波導實現光信號空分復用的多芯光纖矢量位移傳感器。通過飛秒激光直寫技術在多芯光纖中制備耦合波導，可以將中間芯的傳輸光高效耦合至側芯之中，因此將多芯光纖與單模光纖熔接即可實現多芯光纖傳輸信號的空分復用。進一步地，在多芯光纖不同側芯內寫制光纖布拉格光柵（FBG），并基于不同側芯對光纖彎曲應變的各向異性響應，實現矢量位移測量。該傳感器提供了一種緊湊性高且有利于快速解調的傳感方案，有望在智能機械、結構健康監測等領域中發揮重要作用。研究背景光纖型矢量彎曲/位移傳感器具有...

封面展示了基于非線性晶體的自發參量下轉化過程產生糾纏光子的示意圖。本文使用周期極化磷酸氧鈦鉀（PPKTP）晶體光路實現了高效率的位置-動量（EPR）糾纏光子制備，并利用鬼成像和鬼干涉技術驗證了糾纏特性，實驗設計相對簡單，可以為量子信息處理、量子成像等過程提供幫助。1、研究背景量子糾纏態在量子科學領域，已應用于量子密鑰分發、量子計算、量子中繼等領域。位置-動量糾纏（即EPR糾纏）描述一對在位置上相關，同時在動量上反相關的粒子，設xa、xb分別為粒子a和b的位置，pa、pb分別為...

一、研究背景智能材料作為未來科技的關鍵組成部分，在許多領域中展現了巨大的應用潛力。然而，傳統的磁響應材料通常受到固定磁各向異性和單一響應模式的限制，難以滿足復雜環境和多功能任務的需求。例如，在醫療手術中，微型軟體機器人需要在狹窄空間中變形以適應復雜的解剖結構，同時還需承擔精準遞送藥物等多種功能。現有磁響應材料的局限性使得這些需求難以全面實現，因此開發具有可編程性和多響應能力的新型磁性材料成為研究熱點。此外，如何通過簡單、高效的技術在不破壞材料整體結構的情況下，實現多次重復編程...